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p1a-水过滤及深度处理系统
水过滤及深度处理系统
电子用纯水深度处理
在水处理领域,电子用水是所有应用领域要求最高的场合,根据不同的产品等级,水处理的要求也不一样,其处理流程也不尽相同。
在一般电子工业,比如PCB行业,纯水主要用于配槽液和冲洗工件,一般要求水质电阻率在5-10MΩ左右,一般采用反渗透加上粗混就可以达到。
在显示器(包括CRT、液晶和等离子显示器)和储存介质制造领域,电阻率的要求就提高到15MΩ左右,第二级精混床就必须要增加。
到了半导体制备时,18M 的纯水则使基本要求,但是越纯的水,其电阻率就越不稳定,所以脱出CO2气体的专用分离膜产品被引入系统。
在电阻制造特别是半导体领域,纯水水质达到要求,是整厂开机的基本条件,所以那些用于终端过滤产品的COD析出被控制在PPB等级,所以这些过滤产品的要求要远高于普通过滤的要求。
电子用水过滤系统 | ||||
应用工艺 | 推荐过滤芯 | 滤芯精度 | 去除杂质大小 | 目的 |
F1.捕捉过滤 | PP滤袋 | 5μm | 75%以上的5μm杂质 | 捕捉杂质,保护F2滤芯,减少滤芯更换频次 |
F2.保安过滤器 | 滤芯 | 5μm | 5um | 保护反渗透膜 |
F3.反渗透膜 | 单只脱盐率高于99% | 系统95%以上脱除盐份 | ||
F4.保护过滤 | 滤芯 绝对精度滤袋 | 1、3μm | 防止中间水箱中杂质到后续工艺 | |
F5.捕捉过滤 | 滤芯 | 1、3μm | 捕捉树脂杂质 | |
F6.CO2气体 脱出过滤 | 中空纤维 | CO2气体去除率≥83.9% | 脱出CO2气体,保证纯电阻率 | |
F7.终端预过滤 | 折叠滤芯 | 0.45、0.22μm | 保护终端过滤器 | |
F8.终端预过滤 | 折叠滤芯 | 0.22/0.1/0.03μm | 终端过滤器 | |
F9.终端预过滤 | 折叠滤芯 | 0.22/0.1/0.03μm | 保护终端过滤器 | |
注:水处理的工艺已经有多种模式的配置,比如采用中空纤维超滤/微滤取代预过滤系统在大型水处理方面已经很常见,当遇到这些问题时,请咨询华滤环保技术部专业技术员。 |