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    电子工艺

    p1a-水过滤及深度处理系统

    发布时间:2017-06-28作者:阅读量:4798

    水过滤及深度处理系统

    电子用纯水深度处理

    在水处理领域,电子用水是所有应用领域要求最高的场合,根据不同的产品等级,水处理的要求也不一样,其处理流程也不尽相同。

    在一般电子工业,比如PCB行业,纯水主要用于配槽液和冲洗工件,一般要求水质电阻率在5-10MΩ左右,一般采用反渗透加上粗混就可以达到。

    在显示器(包括CRT、液晶和等离子显示器)和储存介质制造领域,电阻率的要求就提高到15MΩ左右,第二级精混床就必须要增加。

    到了半导体制备时,18M 的纯水则使基本要求,但是越纯的水,其电阻率就越不稳定,所以脱出CO2气体的专用分离膜产品被引入系统。

    在电阻制造特别是半导体领域,纯水水质达到要求,是整厂开机的基本条件,所以那些用于终端过滤产品的COD析出被控制在PPB等级,所以这些过滤产品的要求要远高于普通过滤的要求。


    电子用水过滤系统

    应用工艺

    推荐过滤芯

    滤芯精度

    去除杂质大小

    目的

    F1.捕捉过滤

    PP滤袋

    5μm

    75%以上的5μm杂质

    捕捉杂质,保护F2滤芯,减少滤芯更换频次

    F2.保安过滤器

    滤芯

    5μm

    5um

    保护反渗透膜

    F3.反渗透膜



    单只脱盐率高于99%

    系统95%以上脱除盐份

    F4.保护过滤

    滤芯

    绝对精度滤袋


    13μm

    防止中间水箱中杂质到后续工艺

    F5.捕捉过滤

    滤芯


    13μm

    捕捉树脂杂质

    F6.CO2气体

    脱出过滤

    中空纤维


    CO2气体去除率≥83.9%

    脱出CO2气体,保证纯电阻率

    F7.终端预过滤

    折叠滤芯


    0.450.22μm

    保护终端过滤器

    F8.终端预过滤

    折叠滤芯


    0.22/0.1/0.03μm

    终端过滤器

    F9.终端预过滤

    折叠滤芯


    0.22/0.1/0.03μm

    保护终端过滤器

    注:水处理的工艺已经有多种模式的配置,比如采用中空纤维超滤/微滤取代预过滤系统在大型水处理方面已经很常见,当遇到这些问题时,请咨询华滤环保技术部专业技术员。



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