p2b-半导体应用流程

发布时间：2017-06-28作者：阅读量：4947

典型应用A：化学品过滤

在半导体制造中化学品过滤，主要有两个方面的挑战，首先是过滤材料对化学品的适应能力，不得当的材料选择，会造成重大的质量事故，而用于半导体的化学品多为强酸、强碱和一些腐蚀性极强的物料，所以包括过滤容器在内，多使用PVDF（聚偏氟乙烯）和PTFE(聚四氟乙烯)材料。另外一个方面就是对精度的挑战也达到了极限，0.04/0.1/0.22μm的过滤是经常被使用的，而且其去除效率要达到99.9999%，而且在极端条件下的COD析出值也要控制在ppb等级。

由于洁净度的高要求，就在化学品的转运的没个环节几乎都安排了过滤器，在供应商运送物料的槽车上，在输送的管路上；到每一个使用设备的进料口，都严格按要求提供。